Équipement de base de la ligne de production automatisée PR Cleaning pour les fabricants d’écrans LCD
La ligne de production automatisée de nettoyage PR (photorésist) est un équipement de traitement humide essentiel dans la fabrication d'écrans LCD. Il est principalement utilisé après le processus de photolithographie sur le substrat du réseau pour éliminer complètement la résine photosensible résiduelle, les résidus de gravure et les micro-contaminants de surface. Il s’agit d’un équipement crucial pour garantir la précision du circuit des panneaux et améliorer le rendement du produit. Parfaitement adapté à l'environnement de production rigoureux d'une salle blanche de classe 100, il réalise des opérations de nettoyage en boucle fermée de haute-précision, automatisées et-sans pollution-.
Ciblant les résidus de photorésist positifs et négatifs après le processus de photolithographie, il utilise un processus de nettoyage par ultrasons en plusieurs étapes + de rinçage par débordement d'eau pure pour éliminer en profondeur les débris, les contaminants organiques, les particules de poussière et autres impuretés restant après la gravure par photolithographie. Il peut éliminer complètement les résidus microscopiques inférieurs à 0,5 μm, évitant ainsi les défauts tels que les circuits ouverts des panneaux, les points lumineux et les points Mura causés par des impuretés. Combiné à un système de filtration de haute précision de 0,1 μm-, il empêche la contamination secondaire. Il permet un retrait complet et sans dommage-, évitant l'impact des couches adhésives résiduelles sur les processus de gravure et de revêtement ultérieurs, avec un taux de couverture de retrait de 100 %.
Le module de contrôle électrostatique ESD intégré contrôle strictement la valeur électrostatique dans la plage inférieure ou égale à ± 100 V. Combiné avec le matériau antistatique de la cavité et la technologie de distribution de roue magnétique sans contact, il évite que les décharges électrostatiques n'endommagent les circuits de précision du panneau, tout en empêchant également les rayures, les éclats et la génération de poussière due au frottement sur le substrat en verre, maximisant ainsi la protection de l'intégrité du substrat.
Chambre d'essai à température constante haute et basse température
Le cœur de l'équipement de la ligne de production automatisée de nettoyage et de séchage pour les fabricants d'écrans LCD intègre un double mode de séchage : découpe à la lame d'air et séchage à l'air chaud à température constante-. Cela élimine rapidement les taches d'eau de la surface du substrat, permettant un séchage sans filigrane-et sans trace-. Après séchage, la teneur en humidité de la surface du substrat s'approche de zéro, permettant un transfert direct vers le processus suivant sans traitement secondaire, garantissant ainsi la continuité du processus. Un système de contrôle PLC permet un fonctionnement en boucle fermée entièrement automatisé- du chargement, du positionnement, du nettoyage et du déchargement. Il prend en charge les fonctions de surveillance et d'alarme en temps réel-pour l'ajustement de la concentration de la solution de nettoyage, de la température, de l'humidité et de la propreté. La chambre scellée et la conception à pression négative en gradient empêchent les fuites de gaz chimiques. Associé à l'environnement à pression positive d'une salle blanche de classe 100, il permet également le recyclage de l'eau ultra pure ainsi que la classification et la récupération des déchets liquides, répondant ainsi aux exigences d'économie d'énergie et de protection de l'environnement.
Par rapport au nettoyage manuel traditionnel, les lignes de production de nettoyage PR entièrement automatisées présentent des avantages irremplaçables : l'efficacité du nettoyage est multipliée par plus de 3 et près de 10 000 substrats en verre peuvent être traités par équipe, raccourcissant considérablement le cycle de processus ; la cohérence du nettoyage est excellente, éliminant soigneusement les micro-résidus inférieurs à 0,5 μm, contrôlant le taux de défauts du panneau à moins de 0,5 PPM, évitant efficacement les défauts tels que les points lumineux, les points sombres et les coupures de circuit sur l'écran ; l'équipement adopte une conception-économe en eau et en énergie-, avec un taux de récupération d'eau pure élevé et une collecte et un traitement des eaux usées classées, répondant aux exigences de production de protection de l'environnement ; l'ensemble de la machine est fabriqué en PVC résistant à la corrosion-et en acier inoxydable SUS304, avec une étanchéité solide, un nettoyage et un entretien faciles, et convient à un fonctionnement continu de 24-heures dans les salles blanches, devenant ainsi un équipement standard pour les fabricants d'écrans LCD afin de créer des gammes de produits haut de gamme et d'améliorer leur compétitivité de base.
Équipement de base dans l'atelier de photolithographie des fabricants d'écrans LCD
L'équipement d'exposition est l'équipement de base de l'atelier de photolithographie et un domaine clé du processus de fabrication des matrices LCD. Également connue sous le nom de machine de lithographie sur panneaux, il s'agit d'un dispositif de traitement optique par voie humide de haute-précision. Sa fonction principale est de transférer le modèle de conception du circuit du substrat sur un substrat de verre recouvert de résine photosensible par exposition optique, ce qui est crucial pour la formation de micro-circuits dans le panneau. Le transfert précis du motif de circuit du photomasque au substrat de verre est la condition préalable aux processus ultérieurs de gravure, de revêtement et de nettoyage PR, déterminant directement la qualité de l'écran d'affichage. L'équipement utilise un processus d'exposition sans contact-, adapté aux substrats en verre LCD minces et de grande taille, évitant ainsi les rayures, les dommages et la contamination du substrat.
Les principaux points forts technologiques incluent un système d'alignement de haute-précision avec une précision de superposition au niveau du micron-ou même au niveau inférieur au-micron-, garantissant un désalignement nul dans l'empilement de circuits multi-couches avec des erreurs contrôlées à quelques millièmes près du diamètre d'un cheveu ; l'utilisation d'une source de lumière d'exposition uniforme et d'une technologie de mise au point dynamique pour obtenir des fluctuations d'énergie d'exposition de<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
L'ensemble de l'atelier utilise une source de lumière jaune monochromatique de 589 nm, filtrant complètement la lumière à courte longueur d'onde - telle que la lumière ultraviolette, bleue et blanche, empêchant ces rayons de déclencher prématurément des réactions photochimiques dans la résine photosensible, provoquant des défauts mortels tels qu'un désalignement des motifs, des lignes incomplètes, des courts-circuits et des circuits ouverts. Le système d'éclairage utilise une combinaison de LED jaunes dédiées et de filtres à double -couche pour éviter les fuites de lumière parasite ; les portes, fenêtres et fenêtres d'observation sont équipées de matériaux filtrants anti-ultraviolets ; les téléphones portables, appareils photo, lampes de poche haute puissance-et autres sources de lumière externes sont strictement interdits à l'intérieur de l'atelier, et un contrôle de la discipline lumineuse sur toute la zone-est mis en œuvre pour éliminer le risque d'exposition prématurée de la résine photosensible de la source.
Introduction aux salles blanches de classe 100 pour les fabricants d'écrans LCD
Dans le domaine de la fabrication d'écrans LCD de haute-précision, les salles blanches de classe 100 (salles blanches de classe 5 ISO) constituent l'installation de production principale et un indicateur clé de la force technique et du rendement du produit d'un fabricant. Ils sont largement utilisés dans les étapes de processus principales telles que les matrices, l'assemblage de cellules et l'emballage de modules par de grandes sociétés d'affichage telles que BOE, TCL CSOT, HKC et Tianma. Ces salles blanches ont des normes de propreté strictes, avec pas plus de 100 particules de poussière en suspension supérieures ou égales à 0,5 μm de diamètre par pied cube d'air (inférieur ou égal à 3 520 par mètre cube). Ce niveau de propreté dépasse de loin celui des salles d'opération médicales, servant de « barrière inconditionnelle » pour empêcher la poussière, l'électricité statique et les contaminants chimiques d'interférer avec les processus de précision. Il s'agit d'un composant matériel essentiel qui détermine directement la qualité d'image, la durée de vie et le taux de rendement de l'écran.
L'atelier est conçu et construit en stricte conformité avec les normes internationales et nationales ISO. Il adopte un mode de flux d'air unidirectionnel vertical, associé à un système de filtration ULPA à quatre étapes (pré-filtre, filtre à efficacité moyenne-, filtre à haute-efficacité et filtre à ultra-haute-efficacité de filtration), atteignant une efficacité de filtration allant jusqu'à 99,999 %, garantissant une élimination instantanée de la poussière et éliminant les zones mortes du flux d'air. Simultanément, un contrôle environnemental précis est obtenu dans toutes les dimensions : une température constante de 23 ± 1 degrés, une humidité relative contrôlée à 45 %-55 %, un état de pression positive maintenu dans la zone propre et une différence de pression supérieure ou égale à 10 Pa entre les zones adjacentes, empêchant complètement l'infiltration de poussière externe ; compte tenu de la sensibilité des panneaux d'affichage aux dommages électrostatiques, un revêtement de sol époxy antistatique autonivelant -est utilisé et des plaques d'acier inoxydable 304 et de couleur salle blanche sont utilisées pour les murs et les plafonds, avec un contrôle strict des valeurs d'électricité statique tout au long du processus ; un contrôle supplémentaire est fourni pour les polluants chimiques COV au niveau moléculaire et les interférences latentes telles que les micro-vibrations, répondant aux exigences des processus à l'échelle nanométrique tels que la photolithographie, le dépôt de couches minces et l'injection de cristaux liquides.
L'atelier adopte une conception de zonage de salle blanche à plusieurs niveaux, divisée en une zone centrale de classe 100, une zone tampon de classe 1 000 et une zone auxiliaire de classe 10 000, avec des couches empêchant la contamination croisée, et les lignes de transport du personnel et des matériaux automatisés sont complètement séparées. Le personnel doit subir un triple processus de changement de vêtements, de douche à air et de détection électrostatique, et ne peut entrer qu'après avoir porté une combinaison complète de salle blanche -, des gants sans poussière - et des lunettes ; les matériaux sont transférés à travers des fenêtres de transfert verrouillées et subissent un traitement d'élimination de la poussière et de l'électricité statique ; l'intérieur est équipé de hottes à flux laminaire FFU, de compteurs de particules en ligne, de capteurs de température et d'humidité, de moniteurs de pression différentielle et d'autres équipements pour assurer une surveillance en temps réel et une traçabilité des données 24- heures, et émettra immédiatement des avertissements et effectuera des ajustements en cas d'indicateurs anormaux pour garantir une stabilité environnementale continue.
